质谱类产品介绍 真空残余气体质谱PrismaPlus™ 分析型质谱QMG700 + QUADERA 分析型质谱QMG422 + QUADSTAR 422 经济型在线质谱系统OmniStar™/Thermostar™ 小型实验室在线质谱系统GAM 200 通用工业在线质谱GAM 300 模块化研发型质谱仪GAM400 超纯气体分析质谱仪GAM500UT 玻璃气泡分析仪GIA522 灯泡气体分析仪LGA 200/LGA407 元素同位素检测仪ESD100 同位素气体分析仪 UF6/IMU200 快速分析质谱仪GAS-100 封装器件检测系统 LLD-2万博官网登陆
等离子清洗设备类产品介绍 等离子体系统ION40 等离子体系统ION100 微波等离子去胶机IoN Wave 10 等离子体笔™系统
非标产品介绍 干燥洁净高品质压缩空气源系统 罗茨水环泵真空机组 小型在线质谱系统GAS100 充氦检漏系统 JC-11 电厂机组粗真空的喷氦检漏系统 全封闭陀螺检测台PS-1 质谱分析气路选择器GSS-6 变压力气体分析在线质谱仪 玻璃真空系统 真空排气系统 气体封装控制系统TZQ-1209
PVA TePla公司等离子体事业部源自于原TePla AG公司的核心业务，PVA TePla拥有40年以上的等离子系统的设计和制造经验，是世界上较大的等离子清洗机的供应商之一。PVA TePla的等离子设备广泛地应用在半导体、生物医疗、纳米材料、光学电子、平板显示及通用工业领域。在世界范围内超过3000台设备的良好运行，充分证明了PVA TePla等离子设备的优越品质。
该事业部致力于用户定制解决方案的开发、设计和制造。公司的设备广泛地应用在如下领域：
● 半导体和光伏领域
● 工业和医药工程领域
什么是等离子体？
等离子体和固体、液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的"活性"组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。
固体 液体
气体 等离子体