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产品介绍
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质谱类产品

质谱类产品介绍 真空残余气体质谱PrismaPlus™ 分析型质谱QMG700 + QUADERA 分析型质谱QMG422 + QUADSTAR 422 经济型在线质谱系统OmniStar™/Thermostar™ 小型实验室在线质谱系统GAM 200 通用工业在线质谱GAM 300 模块化研发型质谱仪GAM400 超纯气体分析质谱仪GAM500UT 玻璃气泡分析仪GIA522 灯泡气体分析仪LGA 200/LGA407 元素同位素检测仪ESD100 同位素气体分析仪 UF6/IMU200 快速分析质谱仪GAS-100 封装器件检测系统 LLD-2

检漏类产品

检漏类产品介绍 充氦检漏系统 JC-11 电厂机组粗真空的喷氦检漏系统 全封闭陀螺检测台PS-1

等离子清洗设备类产品

等离子清洗设备类产品介绍 等离子体系统ION40 等离子体系统ION100 微波等离子去胶机IoN Wave 10 等离子体笔™系统

真空炉

预除气真空系统 VDF1845 真空炉系列万博官网登陆

非标产品

非标产品介绍 干燥洁净高品质压缩空气源系统 罗茨水环泵真空机组 小型在线质谱系统GAS100 充氦检漏系统 JC-11 电厂机组粗真空的喷氦检漏系统 全封闭陀螺检测台PS-1 质谱分析气路选择器GSS-6 变压力气体分析在线质谱仪 玻璃真空系统 真空排气系统 气体封装控制系统TZQ-1209万博官网登陆

真空部件类产品

CF系列连接件 KF系列连接件 真空标准件万博官网登陆

低温泵

GCP-200低温泵 HSR低温泵 CVI低温泵万博官网登陆

高压冷冻机

HPF COMPACT 02

等离子清洗设备类产品

IoN40等离子清洗机

  IoN 40是我们在真空等离子体技术领域的新进展。气体等离子体依靠其多功能性、绿色环保,正在迅速成为生命科学、电子和工业领域中对材料表面进行改性的关键技术。例如,医疗诊断设备的微型化趋势要求精密清洁和选择性化学功能化的表面。等离子体去除有机污染的效果比湿化学法要高几个数量级,而且可以在纳米级别内使表面化学功能化。因此,等离子技术正在取代不再经济或不再实用的传统处理方法。
IoN 40旨在满足用户不断变化的需求,着重于表面处理需求的多功能性和可控性。其先进的性能提供了出色的工艺控制、失效保护报警系统和数据采集软件。这使系统可满足生命科学工业中严格的质量控制程序。IoN 40结构紧凑、集成度高,采用射频(RF)激发等离子体。它的台式设计使其很容易安装在实验室或生产环境中。

先进的功能特性:
●  完全可配置的腔室可使用各种不同的电极构造,适用于中等尺寸的结构复杂的3维工件或大批量的小工件处理
●  使用Windows系统的计算机控制
●  符合CFR(美国联邦法规)第21章第11部分和Semi E95-1101的图形用户界面(GUI)
●  单独的用户软件访问权限:操作者、工艺编写、维护
●  自定义的工艺误差控制保证了精确的批次可重复性
●  通过以太网进行远程统计过程控制监测
●  机载诊断功能和报警记录
●  工艺编辑软件提供了快速灵活的步骤控制功能
●  液晶触摸屏显示器(LCD)和键盘

详细资料

技术参数
工作腔室材料                    铝
容积                                 36.5 升
内部尺寸              229 x 330 x 483 mm
   
可用电极
初级等离子体
垂直电极
侧壁电极
可抽卸的3层或5层 289 mm x 234 mm   11.38" x 13.15"托盘
3层温控电极
低微粒电极
次级等离子体电极

工艺气体
质量流量控制计                                最多至8路气体
工艺压力                   大约120-2000 mTorr(取决于真空泵和气体流量)
抽真空时间                                大约1分钟 (取决于真空泵)
放气                                                            可调
射频发生器                            风冷13.56MHz,600 瓦(标准配置)
供给需求电源     220V或 220V 单相,2.3 KW, 50Hz
工艺气体                                    输入压力 1-2 bar 30 PSI
吹扫气体                                    输入压力 1-2 bar 30 PSI
压缩空气                                    输入压力 5 bar 75 PSI
尺寸                    宽/高/深 775 x 723 x 781 mm      30.5" x 28.5" x 30.75"
重量                                          1    56.36 千克 / 344 磅

可选项

1%精度的压力测量
压力控制器
指示灯柱
条形码阅读器
工艺气体切换器
光谱终点检测器
300 瓦13.56 MHz射频发生器
不锈钢MFC
打印机
循环液体冷却器
桌子
单体处理装置
真空泵(旋片泵、干泵或涡旋泵)
气相MFC

安全认证标准
独立实验室测试
CE认证
EN 61010
EN 61326

 

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